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VMP阀门分配箱的设计与应用

文章来源:本站人气:85发表时间:2019-10-23 09:09:00

阀门分配箱(VMB)通常用于输送特殊气体。在半导体、光伏太阳能、 IC芯片的生产领域中,VMB广泛用于磷化氢、硼烷、硅烷、硫化氢、硫化氢、易燃易爆的、有毒气体等应用中。近年来,智研数据研究中心随着中国VLSI、平板显示器、光伏发电等行业的快速发展,对电子燃气市场的需求明显增加,电子特种气体的本地化已成为趋势时代。

据了解,中国在本地化方面取得了可喜的进展:国内高纯度氨气改变了外国天然气公司的垄断市场,高纯度四氟化碳“宝贵而无货”的时代也结束了。高纯度氯化氢已在中国成功开放。市场。因此,阀门分配系统的应用将越来越广泛。

VMB阀门分配箱


设计参考:

特殊气体VMB应设计有进气管隔离阀和压力指示装置;气路应配备一个独立的压力控制调节阀、过滤器、过流开关;气体分支应设有独立的出口隔离阀;管道上应配备单独的吹扫气设备、辅助真空设备等。

对于惰性气体,应提供进气管路隔离阀和压力指示装置;气路应配备独立的压力控制调节阀、过滤器;气体分歧应配备独立的出口隔离阀。

电子气体,特别是危险的特殊气体,是集成电路、光电、微电子学,尤其是VLSI、液晶显示设备、半导体发光器件和半导体材料的制造工艺中必不可少的基本支撑材料,这种材料被称为电子工业的“血液”和“食品”,其纯度和清洁度直接影响着光电产品的质量。、微电子元件的质量、集成度、的具体技术指标和良率,从根本上限制了电路和器件的准确性和准确性。 VMB的引入是一对多,点对点分支的核心单元。不仅保证了多点用气,而且确保了用气的安全。
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